一、概述
　　不銹鋼硅烷尾氣凈化裝置（不銹鋼硅烷燃燒塔）是處理太陽能電池行業生產工藝中產生的硅烷尾氣的新型環保設備。該凈化設備由 CWR 型不銹鋼硅烷尾氣燃燒筒和 CWJ 型不銹鋼硅烷尾氣凈化塔兩部分組成。該裝置具有耐腐蝕、高強度、安全可靠、凈化效率高等特點。

二、工作原理
　　根據硅烷尾氣與空氣接觸而自燃的特點，生產工藝中產生的硅烷尾氣由管道進入 CWR 型不銹鋼硅烷尾氣燃燒筒進行燃燒處理，經過燃燒筒處理的尾氣再由管道進入 CWJ 型不銹鋼硅烷尾氣凈化塔進行二次凈化處理。首先進入凈化塔的噴淋室進行一次噴淋處理再穿過填料層進入第二次噴霧處理，使尾氣與中和循環液進行充分的逆向接觸反應，然后通過脫液處理后由抽風機排出。
該設備采用二臺水泵分別在二個噴淋室進行噴淋吸收，水泵-1損壞時即啟動應急補水閥進行噴淋。采用二臺風機(一用一備)進行抽風，并配有調節閥控制流量。

三、規格與性能

CWJ型不銹鋼硅烷尾氣凈化塔規格性能表

CWR型不銹鋼硅烷尾氣燃燒筒規格性能表

四、流程圖

五、基礎圖
1 ．基礎材料150#混凝土，預埋鋼板底面焊四根帶彎鉤圓鋼埋在基礎中。
2 ．基礎表面水泥砂漿找平抹光，燃燒筒、凈化器與風機鋼井架三基礎的上平面要求在同一水平面上。
3 ．基礎結構由土建設計。

六、外形圖

七、注意事項
CWJ 不銹鋼硅烷尾氣凈化塔——操作、維護、保養及控制系統注意事項：
1 、設備安裝結束后，在試車之前必須先清除塔內污物。
2 、加注中和液至所需范圍。
3 、開水泵運行，檢查是否正常運轉，檢查壓力表是否正常。
4 、開風機運行，檢查運轉是否正常。
5 、 CWJ 凈化塔為負壓運行，如果負壓過大則打開新風閥進行調節。
6 、整個系統的風量通過凈化塔出口管道上的調節閥進行調節。
7 、每天必須檢查儲液箱中的液位，不低于溢流口為正常。
8 、如果水泵-1 損壞需立即打開應急補水閥進行噴淋處理。
9 、風機與水泵開關程序：
開機時先開水泵-1 、再開風機、后開水泵-2 ；
關機時先關水泵-2 、再關風機、后關水泵-1 。
10 、清洗或更換填料噴頭時，請打開檢修孔即可。
11 、清除 Si02 粉或污泥時，請打開清污閥即可。
12 、設備中的中和液每月徹底更換一次。
13 、設備內部的噴頭及填料每三個月檢查清洗一次